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仪器操作说明 化学品安全说明书(MSDS)

		化学品：
引线仪操作说明.pdf 纳米压印机操作说明.pdf 探针式轮廓仪操作说明.pdf 紫外光刻机操作说明.pdf 热蒸发镀膜机操作说明.pdf 电感耦合等离子体刻蚀机操作说明.pdf 反应离子刻蚀机操作说明.pdf 场发射扫描电镜操作说明.pdf 电子束曝光机操作说明.pdf 双束电子显微镜操作说明.pdf 能谱EDS软件 AZtecOne操作说明.pdf 电子束蒸镀系统操作说明		Ethanol(CH3CH2OH).pdf Acetone((CH3)2CO).pdf Isopropyl Alcohol((CH3)2CHOH).pdf
		光刻胶：
		S1813.pdf S1818.pdf PMMA.pdf 正胶显影液（238）.pdf
		气体：
		Tetrafluoromethane(CF4).pdf Trifluoromethane(CHF3).pdf Sulfur Hexafluoride(SF6).pdf Compressed Dry Air (CDA).pdf Argon(Ar).pdf Hydrogen(He).pdf Oxygen(O2).pdf Nitrogen(N2）.pdf
其他：		金属：
武汉大学微纳加工实验室超净间使用公约.pdf 微纳加工实验室假期实验室使用审批表.docx		Siliver(Ag).pdf Gold(Au).pdf Aluminum(Al).pdf Chromium(Cr).pdf Nickel(Ni).pdf Titanium(Ti).pdf