武汉大学纳米科学与技术研究中心微纳加工实验室

化学试剂管理规则

武汉大学纳米科学与技术研究中心微纳加工实验室（以下简称微纳加工实验室）是为了满足校内师生开展微尺度器件制备和纳米科技研究而建立的公共技术平台。微纳加工实验室净化间属于封闭空间，本着安全是一切工作的前提和基础的原则，带入使用化学试剂必须遵从以下管理规则。

1.化学试剂分类
        微纳加工实验室净化间允许使用的化学试剂分为通用化学试剂和专用化学试剂。其中通用化学试剂是指在本实验室内的常规工艺实验中进行样品清洗及光刻所需的化学试剂；专用化学试剂是指用户进行其它操作所需的化学试剂。
1.1通用化学试剂
      微纳加工实验室净化间允许使用的通用化学试剂仅限乙醇、异丙醇、丙酮、光学光刻胶及显影液、电子束光刻胶及显影液。带入使用通用化学试剂无需向实验室负责人申报。
1.2专用化学试剂
     微纳加工实验室净化间允许使用的专用化学试剂由用户根据实验需要向实验室负责人申报，须提供化学试剂名称及其MSDS（化学品安全说明书）电子版，待审批同意后，才能将化学试剂带入使用。

2.化学试剂使用
        微纳加工实验室净化间内的所有化学处理都必须在通风橱内完成，用户要确保了解所使用化学试剂的物理化学性质，并正确操作。使用通风橱或化学试剂后，应保持通风橱清洁，并将化学试剂容器和实验器皿放回原处，废液分类倒入指定的废液回收桶内并将桶盖盖好。

3.化学试剂管理
3.1通用化学试剂管理
     微纳加工实验室净化间允许使用的通用化学试剂由实验室统一提供，存放在紫外光刻间内。 
3.2专用化学试剂管理
     微纳加工实验室净化间允许使用的专用化学试剂皆由用户自备自管（包括废液回收处理），用户需要使用时带入净化间内，使用完毕及时带走。如果近期还需继续使用，用户需要实验室负责人申报，审批同意后用户可将其装入自备的收纳箱内并锁上，妥善暂存在指定的储物架上。用户自备的收纳箱必须在明显位置贴有标签，并清晰地标注姓名和联系方式。

        所有在微纳加工实验室净化间内需要使用化学试剂的人员请认真阅读并严格遵守以上各项规定。违反上述规定者，视情节轻重予以警告教育、取消进入净化间工作权限等处罚。